本产品主要用于干法去胶，去胶室为石英腔体，活动石英舟结构可方便生产样片的取放操作。

本产品具有去胶速度快、重复性好、对器件损伤小等特点。

本产品操作方便、稳定性高，具有较高的性能价格比，可广泛应用于生产。

型号	PR-3
真空系统	机械泵系统
反应室规格	ø210×300mm（卧式、石英腔体）
最大装片量	25片（4英寸）
去胶速率	300Å～1000Å / min