类金刚石（英文：Diamond-likeCarbon 缩写DLC）是一种非晶碳，这种材料表现出很多与金刚石相类似的性质，DLC常常作为涂层材料使用。

平衡磁控溅射即传统的磁控溅射，是在阴靶材背后放置芯部与外环磁场强度相等或相近的永磁体或电磁线圈，在靶材表面形成与电场方向垂直的磁场。沉积室充入一定量的工作气体，通常为Ar，在高压作用下Ar 原了电离成为Ar+离子和电子，产生辉光放电，Ar+ 离子经电场加速轰击靶材，溅射出靶材原子、离子和二次电子等。

ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，通常有两个性能指标：电阻率和透光率。

PVD基本方法：真空蒸发、溅射 、离子镀（空心阴离子镀、热阴离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀），以下介绍几种常用的方法。

常用真空术语：1.标准环境条件 standard ambient condition： 温度为20℃，相对湿度为65%，大气压力为101325Pa=1013.25mbar=760Torr。

溅射镀膜是指在真空室中，利用荷能粒子轰击靶材表面，通过粒子动量传递打出靶材中的原子及其它粒子，并使其沉淀在基体上形成薄膜的技术。溅射镀膜技术具有可实现大面积快速沉积，薄膜与基体结合力好，溅射密度高、针孔少，膜层可控性和重复性好等优点，而且物质都可以进行溅射，因而近年来发展迅速，应用广泛。