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DISC-SP-3200型：倾斜共溅射，单片送取样室（Load-Lock）
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DISC-IBE-150C/200C型： 负角度刻蚀降低反污染，热态、冷态两种中和系统，腔体前后开门
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DISC-ICP-8100型：耐氟基或更弱腐蚀性气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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DISC-ICP-8101：氯基刻蚀设备，耐氯基强腐蚀气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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DISC-RIE-8101：氯基刻蚀设备，刻蚀速率控制方便，耐氯基强腐蚀气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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DISC-RIE-8100：刻蚀速率控制方便，耐氟基或更弱腐蚀性气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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DISC-SP-400C：OSR薄膜制备
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